CCZK-HT超硬質(zhì)工具鍍膜設(shè)備
集成磁過濾多弧離子鍍與非平衡磁控濺射工藝，適配切削刀具、精密模具鍍膜加工，制備耐高溫、抗腐蝕硬質(zhì)膜層，改善工件使用周期。
聯(lián)系地址：江蘇省南通市通州灣示范區(qū)大豫鎮(zhèn)江新路16號
1.搭載磁過濾除滴結(jié)構(gòu)，減少涂層表面大顆粒析出，優(yōu)化表層狀態(tài)，提升工件耐磨表現(xiàn)
2.采用雙磁場離子刻蝕結(jié)構(gòu)，提升膜層與基材結(jié)合效果，降低膜層脫落概率
3.配套耐高溫鍍膜工藝，膜層耐受溫度可達 1100℃，適配高速干式切削加工工況
4.適配多種金屬基材，可覆蓋多類零部件鍍膜加工需求
1.膜層硬度區(qū)間 1800~3500HV，膜層具備耐磨損、抗高溫氧化、耐化學腐蝕四類理化特性
2.配備行星公自轉(zhuǎn)工裝架，異形工件各面均可形成均勻膜層
3.多靶位布局設(shè)計，支持多層梯度復(fù)合膜層制備
4.搭載閉環(huán)溫控模塊，鍍膜加工溫度可精準調(diào)節(jié)
| 型號 | CCZK-700-HT | CCZK-1000-HT |
| 腔體尺寸 | D700mm*H700mm | D1000mm*H1000mm |
| 負載功率 | 140KW | 170KW |
| 占地面積 | L4460mm*W4340mm*H2290mm | L5200mm*W4800mm*H2700mm |
| 可鍍模層 | TiN、CrN、AlTiN、AlCrN、TiSiN、AlCrSiN；硬度 1800~3500HV，最高耐溫 1100℃ | |
| 真空系統(tǒng) | 擴散泵/渦輪分子泵+羅茨泵+機械泵+維持泵（深冷系統(tǒng)可選） | |
| 轉(zhuǎn)動系統(tǒng) | 行星自轉(zhuǎn)和公轉(zhuǎn)系統(tǒng) 6/8/10/12/16軸 | |
| 極限真空 | 5*10??Pa | |
| 鍍膜系統(tǒng) | BTA?彎管式過濾電弧陰極 IET?離子蝕刻源 分布式MFC氣路 陽極層線型離子源 | |
| 電源 | 脈沖弧電源/脈沖偏壓電源/等離子體電源/HIPIMS電源/IET?蝕刻源電源 | |
| 操作系統(tǒng) | 全自動（IPC/PLC）+遠程操作+報警系統(tǒng)（支持OPC-UA Link協(xié)議） | |
| 備注 | 具體配置大小均可根據(jù)客戶的鍍膜產(chǎn)品要求進行設(shè)計 | |
適用于切削刀具、沖壓模具、航空零配件、醫(yī)療器件、機械耐磨配件鍍膜生產(chǎn)，可制備 TiN、CrN、AlTiN、AlCrN、TiSiN、AlCrSiN 等硬質(zhì)膜層。膜層硬度區(qū)間 1800~3500HV，可在 1100℃高溫工況下穩(wěn)定使用。
